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卤素检漏和氦气检漏那个灵敏度要高

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氦质谱检漏仪的高. 氦质谱检漏仪的最小可检测漏率：真空模式：5X10-12 mbar l/s (5X10-13 pa m3/s) ；吸枪模式：5X10-8 mbar l/s (5X10-9 pa m3/s)
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