等离子体分为高温、低温等离子体，高温等离子体中的电子、离子温度接近。
低温等离子体又可进一步细分为热、冷等离子体。热等离子体中各种粒子达到热平衡，电子、离子、中性气体温度接近。冷等离子体中的粒子没有经过充分碰撞，系统没有达到热平衡，一般是电子温度远远高于离子、中性气体粒子温度。原因：在冷等离子体产生中，外界能量（电磁场）只要加速电子，离子的加速很小，电子与重粒子（离子、中性气体粒子）的碰撞少，因此电子获得并储存了绝大多数能量。
