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氦气检漏仪本底过高

本底过高抽本底，抽不到标准数值。氦气原因么？求怎么解决这故障。... 本底过高抽本底，抽不到标准数值。氦气原因么？求怎么解决这故障。 展开
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回答者：网友
检查下阀有没有内漏，本地高一般都是泄漏的原因。试试增加清扫气体的压力，但是也不能过高，因为会影响抽空效率
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