技术参数：
1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速电压：0.1KV-30kV
3.放大倍数：25-100万倍
4.样品室尺寸：最大200mm直径样品
5.束流强度：10-13到2X10-9


主要特点：
1.主动式减震器
2.最先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台
4.全自动样品更换气锁
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.自动减速系统标准配置