| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
| 二级电子分解能 | 3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射电子分解能 | 4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（实际显示倍率*2） | |||
| 加速电压 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度设定 | 6～650 Pa | ||
| 图像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 最大样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 | |
| 样品台 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°连续 | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 最大可观察范围 | 130mm直径（R并用） | 200mm直径（R并用） | |
| 最大可观察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 电机驱动 | 5轴电机驱动 | ||
| 电子光学系统 | 电子枪 | 中心操控式钨丝发射 | |
| 物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 | ||
| 检测系统 | 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 图像显示 | 自动光轴调整功能 | 自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自动光轴调整（实时级别对齐） | |||
| 自动调整光束亮度 | |||
| 自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制（ABCC） | ||
| 自动对焦控制（AFC） | |||
| 自动标记和焦点功能（ASF） | |||
| 自动灯丝饱和度调整（AFS） | |||
| 自动光束对准（ABA） | |||
| 自动启动（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作辅助功能 | 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能 | ||
| 配件 | ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部装置） | 能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、 各种外部功能台（加热台、冷却台、牵引台） | ||
