六氟化钨
六氟化钨(Tungsten hexafluoride)
CAS: 7783-82-6
化学式: F6W
| 中文名 | 六氟化钨 |
| 英文名 | Tungsten hexafluoride |
| 别名 | 氟化钨 六氟化钨 六氟化鎢 氟化钨(VI) 氟化物测定用标准溶液 |
| 英文别名 | WF6 UN2196 Tungstenfluoride Tungsten fluoride Hexafluorotungsten Tungsten hexafluoride TUNGSTEN(VI) FLUORIDE TUNGSTEN HEXAFLUORIDE Tungsten fluoride (WF6) tungsten(6+) hexafluoride (oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6 Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)- Tungsten hexafluoride [UN2196] [Poison gas] |
| CAS | 7783-82-6 |
| EINECS | 232-029-1 |
| 化学式 | F6W |
| 分子量 | 297.83 |
| InChI | InChI=1/6FH.W/h6*1H;/q;;;;;;+6/p-6/rF6W/c1-7(2,3,4,5)6 |
| 密度 | d15liq 3.441 |
| 熔点 | 2.3°C(lit.) |
| 沸点 | 17.5°C(lit.) |
| 水溶性 | decomposes |
| 蒸汽压 | 10hPa at 20℃ |
| 外观 | 无色气体 |
| Merck | 13,9885 |
| 物化性质 | 化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒，其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟，生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性，但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时，对玻璃的腐蚀性较弱，而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。 【密度】 3.44×103kg/m3(15℃，液体) 【熔点】 2.5℃(5.6×104帕) 【沸点】 17.5℃ 【临界温度】 171℃ 【临界压力】 445.8kPa 【制备方法】 由金属钨粉与元素氟直接反应合成。 【主要用途】 （1）一种强氟化剂，用于气相沉积法制钨膜。（2）在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨，以制作低电阻、 高熔点的互连线。 图1为六氟化钨分子结构式。 |
| 危险品标志 | T - 有毒物品 C - 腐蚀性物品  |
| 风险术语 | R23/24/25 - 吸入、皮肤接触及吞食有毒。 R34 - 引起灼伤。 |
| 安全术语 | S26 - 不慎与眼睛接触后，请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。 S36/37/39 - 穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。 S45 - 若发生事故或感不适，立即就医(可能的话，出示其标签)。 |
| 危险品运输编号 | UN 2196 2.3 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS | YO7720000 |
| Hazard Note | Toxic/Corrosive |
| Hazard Class | 2.3 |
| 下游产品 | 钨 |
六氟化钨 - 简介
六氟化钨是一种无机化合物。它是一种无色的气体，具有强烈的腐蚀性和刺激性的气味。
六氟化钨主要用于制备高纯度的金属钨，常用于真空中的化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）过程。其具有优良的电子传输性能，六氟化钨在半导体制造、涂层、光学薄膜等领域也有广泛应用。
制备六氟化钨的常见方法有两种：一种是将氟气和金属钨在高温下反应；另一种是将氟化氢和三氯化钨反应，然后蒸馏纯化得到六氟化钨。
使用六氟化钨时需注意其腐蚀性和刺激性。接触六氟化钨可能导致眼睛和皮肤的灼伤，吸入过多六氟化钨气体可能引起呼吸道刺激和化学肺炎。在操作六氟化钨时，应严格遵守安全操作规程，佩戴适当的防护设备，避免接触六氟化钨气体和其液态或固态形式。
六氟化钨具有中度的毒性，可能对环境产生不良影响。在处理和处置过程中，需要采取适当的环境保护措施，并遵守相关法律法规。
六氟化钨主要用于制备高纯度的金属钨，常用于真空中的化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）过程。其具有优良的电子传输性能，六氟化钨在半导体制造、涂层、光学薄膜等领域也有广泛应用。
制备六氟化钨的常见方法有两种：一种是将氟气和金属钨在高温下反应；另一种是将氟化氢和三氯化钨反应，然后蒸馏纯化得到六氟化钨。
使用六氟化钨时需注意其腐蚀性和刺激性。接触六氟化钨可能导致眼睛和皮肤的灼伤，吸入过多六氟化钨气体可能引起呼吸道刺激和化学肺炎。在操作六氟化钨时，应严格遵守安全操作规程，佩戴适当的防护设备，避免接触六氟化钨气体和其液态或固态形式。
六氟化钨具有中度的毒性，可能对环境产生不良影响。在处理和处置过程中，需要采取适当的环境保护措施，并遵守相关法律法规。
最后更新：2024-04-10 22:29:15
