扫描电子显微镜分辨率

扫描电镜是高能电子散射固体材料，可获得许多特征信号！ 微观成像是扫描电镜基本功能，要求高分辨，So可为其他特征信号分析提供精确导航！ SEM一般标配SE探测器，用SE信号获得高分辨像，且SE信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。 Why SE not other？ 比靠斯：在电子束样品作用区，可能只有SE取样面积与电子束斑尺寸最接近，且对其尺寸敏感！ 敏感到啥程度？ 例如样品是黄金，SE1的取样面积和束斑面积相同。 BSE也是常用成像信号，但对于黄金样品，电子探针束斑直径1nm 或 2nm，其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近，大多情况，其分辨率和加速电压相关较多。 总结：提到扫描电镜分辨率，大概就是在说这台电镜的性能，用SE成像分辨率是最为精确的表达，主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。