氮化硅陶瓷。
目来自前常用的氧化铝基板热导率低、氮化铝基板可靠性差，限制其在高端功率半导体器件中的应用。氮化硅陶瓷基板具有高强度、高韧性、高绝缘、高热导率、高可靠性及与芯片匹配的热膨胀360问答系数等优点，是一种具有综合性能的基板材料，应用前景广阔。
氮费督城开化硅陶瓷的用途
由两绝劳聚利二识跑雷于Si3N4陶瓷的优异性能，它已在许多工业领域获得广泛应用，如在机械工业中用作涡轮叶片、机械密封环、高温轴承、高速切削工具、永久性模具等；移秋松新向径冶金工业中用作坩埚、燃烧嘴、铝电解槽衬里等热工设备上的部件。
化学工业中用作耐蚀形训抓革渐名讨轻进、耐磨零件包括球阀、泵体、燃烧器、汽化器等；电子工业中用作薄膜电容器、高温绝缘体等；航空航天领域用作雷达天线罩、发动机等；原子能工业中用作原子反应堆中的支承件和隔离件、核裂变物质的载体等。
