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低能电子衍射(LEED),是将能量为5~500eV范围的单色电子入射于样品表面,通过电子与晶体相互作用,一部分电子以相干散射的形育式反射到真空中,所形成的衍射束进入可移动的接收器进行强度测量,或者再被加速至荧光屏,给出可飞如儿深质太永聚机教观察的衍射图像
电子衍射和X射线衍射一样遵循布拉格衍射公式故省策染重久探金曲(详细过程请参考固体物理的晶格衍射一章节)2dnsinθ=Kλ式中,,K为整数,d为两相邻原子层间的距离(帝动事也是光栅周期),θ为光与晶面便河术两已非之间的夹角(称为料刘米长序伯掠射角),n为介质平均折射率,λ为电子束波长
电子衍射虽与X射线衍议均怕核则行记再业武笔射有相同的几何原理。但它们的物理内容不同。在与晶体相互作用时,X射线受到晶体中电子云的散射,而电子受到原子核及其外层电子所形成势场的散射。除以上用布喇格公式或用倒易点阵和反射球来描述产生电子衍射的衍射境封维差茶段几何原理外,严格的电子衍射理论从薛定谔方程Hψ=Eψ出发,式中ψ为地卷叫联电子波函数,E表示电子的总能量,H为哈密顿算子,它包括电子从外电场得到的动能和在晶体静电场中的势能。若解此方程时,考虑到其势能远小于动能,认为衍射束远弱于入射束,忽略掉方程中的二级小量,则所得的解称运动学解,混血务扩五此解与上述衍射几何原理相一致。建立在薛定谔方程运动学解基础上的电子衍射理论称电子衍射运动学理论,此理论的物理内容是忽略了衍射波与入射波之间以及衍射波彼此之间的以燃宽广何久马相互作用。若在解方因互名色殖程时作较高级的近似,例如认为衍射束中除一束(或二束、或三束、……、或n-1束)外均远弱于入射束主,则所得的解称双光束(或三光束、或四光束、……、或n光束)动力学解。建立在买状轻实损己断矛另站动力学解基础上的电子衍射理论称电子衍射动力学理论。