plasma清洗机等离子处理只是前处理工准目基此属侵室东艺吗?

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plasma清洗机等离子前后处理工艺要根据处理对象的制程,看等离子工艺加在制程的哪一段。比如等离子清洗技术在晶圆芯片封装工艺中的铜引线框架,引线键合,倒装芯片封装,晶圆光刻胶去除等工序中都需要用到plasma清洗机处理

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