硅烷法的氯硅烷歧化工艺

氯硅烷歧化反应法，此法利用如下氯硅士烷的合成和歧化反应来获预再首加穿板拉雷路千得硅烷：
Si + 2H2 + 3SiC14——>4SiHCl3
6SiHCl3——>3SiH2Cl2 + 3SiCl4
4SiH2C深委选前执盐l2——>2SiH来自3Cl + 2SiH360问答Cl3
2SiH3Cl——>SiH2Cl2 + SiH4
整个过程是活门能斗林希于闭路，一方投入硅与氢，另一方获得硅烷，因此排出物少，对环保环境有利，同时材料的利用率高。该方法已针引细置起厚初传察立聚经实现千吨级规模生产水平。美硫粮丰护酒赵医当士断范国REC( 前身为Asimi) 采用该方法来制备硅烷气体。