三甲硅基甲基膦酸二甲酯的合成路线有哪些?

三甲硅基甲基膦酸二甲酯有什么方法可以合成?
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基本信息:中文名称 三甲硅基甲基膦酸二甲酯中文别名 三甲基硅烷甲基膦酸二甲酯;英文名称 DIMETHYL TRIMETHYLSILYLMETHYLPHOSPHONATE英文别名 Dimethyl trimethylsilylmethylphosphonate;dimethoxyphosphorylmethyl(trimethyl)silane;[(Trimethylsilyl)methyl]-phosphonic acid dimethyl ester;CAS号 13433-42-6合成路线:1.通过甲醇合成三甲硅基甲基膦酸二甲酯2.通过三甲基氯硅烷和甲基膦酸二甲酯合成三甲硅基甲基膦酸二甲酯

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三甲硅基甲基膦酸二甲酯结构式图片|13433-42-6结构式图片
DIMETHYL TRIMETHYLSILYLMETHYLPHOSPHONATE
13433-42-6
C6H17O3PSi
196.256644010544