用于制取磷酸二苯-异辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯,塑料增塑剂,有机磷农药,长效磺胺药物等。还垂谁了聚研服子德她可用作染料中间体,360问答有机合成的氯化剂和催化剂,阻燃剂。电银子级三氯氧磷的用途在太阳能行业,集成电路,分离器件,光线预制棒等液态磷源也可制备磷酸酯。在半导体行业主要用于N型掺杂源,在0℃反应效果最好。