电子级乙硅烷是怎样生产的？

基本信息：
中文名称 电子级乙硅烷
中文别名 乙硅烷;
英文名称 disilane
英文别名 λ1-silanylsilicon;SiH2=SiH2;EINECS 216-466-5;DISILANE;Silicon dimer;disilicon;
CAS号 1590-87-0
分子式 H6Si2
分子量 62.21860

生产方法：

1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。
2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
3.采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。