影响四氯化硅氢化转化率的因素？

多晶硅的暴利时代已经成为过去，相对生产成本大大增加了。为了降低成本，各地的多晶硅厂家都在搞氢化。我们厂可能是国内搞得比较早的几家之一，就目前的转化率有20%左右。影响转化率的因素主要有四氯化硅的纯度，混合蒸汽的配比，反应温度，压力，催化剂等方面。我们最初在催化剂着手，换过几种催化剂，其转化率由13%左右提高到20%。效果好了很多。那么，其他那些方面因素的改变对转化率的提高有帮助？希望大家多多交流一下。