氯硅烷是否有毒？

有毒。
硅烷SiH4中的氢原子被氯原子取代后，总称为氯硅烷，含氯量低时为气体，较高时为液体，无色或黄色，
　　通式为HnSiCl4-n;n=0,1,2,3；
氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。