在生产多晶硅时,微量的污染也会导致器件失效。因此在多晶硅片、半导体器件生产中硅片须经严格清洗。超纯水设备能清除多晶硅表面的污染杂质,包括有机物和无机物。所以很多企业为了提高多晶硅的产品质量都在使用超纯水设备。