三氯氧磷来自脱水求助（三氯氧磷，脱水，水解，水泵

提问有些模糊，估计是问如何防止三氯氧磷水解。
三氯氧磷不可能含水，空气中有水分与其接触都会使其分解（水解）发生白烟，生成磷酸和氯化氢。因此要使三氯氧磷不分解，就要保持空气干燥，需要空气脱水。可以首先使冷空气通过浓硫酸吸除水气，再与 三氯氧磷接触，就不易水解了。冷空气是为了预先使部分水汽露凝而排除。
呼在半导体工业中用三氯氧磷做磷扩散源，恰恰是利用其水解产物，因此实用中没有脱水问题，以上仅是根据其特性采取相应措施设想。供参考。