；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
公开（公告）号：CN110468378A
公开（公告）日：2丝事清片草张龙当响之019-11-19
发明名染留殖书灯条金满万功称：一种致密五氧化二钽薄膜的制备方法
发明人：任卫; 杨光道; 张永超; 朱楠楠; 杜淑菊; 杨朝宁; 杨炎翰; 李璐; 王勇刚; 姚国光; 商世广
申请人：西安邮电大学陕西师范大学
申请日期：2019-09-12
申请公布日期：2019动棉散专显优动创序-11-19
代理机构：重庆萃智邦成专利代理事务所（普通合伙）
代理刑止希英血人：段敬蚂竺栋
地址：710121 陕西省西安市雁塔区长安南路563号
摘要：本发明公开了一种致密五氧化二钽薄膜的制备方法，在高真空专下件六艺模供年销双下，通过e型电子枪加速从钨丝发射的电子聚焦到铜坩埚中的五氧化二钽颗粒上，久见代族轮宁专压德刘承将其气化，在硅基片上沉积生长校喜犯旧鲜玉款样国管出五氧化二钽薄膜，最后对其进行厚不银到静显聚占供越不同温度的退火处理，制危歌李流家调面备出形貌均匀光滑且致密度高的薄膜材料。本发明方法相比于磁控溅射法，所得薄膜结晶度高、空隙率和孔洞少、稳定性好，相对于阳极氧化法成膜速率快、效率高，具备商稿旦业量产的能力，为以送究后制备出致密五氧化二钽薄膜提供了支持。
二、法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-11-19 公开 公开
2019-12-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/30
三、权利要求
暂无信息
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