求有关洁净区悬浮粒子数计算资料

1目的：检查洁净室（区）空气中悬浮粒子数是否符合要求。2范围：凡本公司10万级、1万级、100级的洁净环境均应作悬浮粒九械往岁笔区些子检查。3职责：测定尘埃粒子数人员、工艺员对本程序实施负责。4程序4.1所用仪器   光照夜散射粒子计数器。4.2测试规则4.2.1测试条件4.2.1.1温度和湿度   洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃~24℃，相对湿度控制在45%~60%之间为宜）。4.2.1.2压差   空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥4.9Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。4.2.2测试状态   静态测试时，室内测试人员不啊严获浓杀击逐黑坚得多于2人。4.2.3测试时间来自4.2.3.1对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。4.2.3.2对非单向流，测试应在净化空气360问答调节系统正常运行时间不少于30min后开始。4.3尘埃粒子数测定4.3.1选择采样位置4.3.1.1对于层流净化间，规定在其气流垂直上方，洁净室作业区域上张黄言音风待营历游流段位置测量。4.1.2对于紊流净化间，在水平面上采样。4.3.2选择最少采样点采样   悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目，查表1确定。4.3.3采样点的位置   采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。4.4仪器操作参照《尘埃粒子计数器操作程序》。4.5结果计算   悬浮何伤粒子浓度的采样数据应按下述不啊章创误界术讲突步骤作统计计算：确压4.5.1采样点的平均粒子浓度               ∑Ci          A=                N式中：A—某一采样点的平均粒子浓度，粒/ m3；      Ci—某一采样点的粒子浓度（i=1，2，3……N）粒/ 帮多商防极m3；      N—某一采样点上的采样次数，次。4.5.2平均值的均值           ∑仍整或技美能离准宁Ai      M=            L式中：M—平均值的坏社述超马决均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒/ m3；      Ai—某一采样点的平均粒子浓度（i=1，2，3……L）粒/ m3；      L—某一洁净室（区）内的总采样点数，个。4.5.3标值液图即志失马属单黄苏准误差      SE= √∑（Ai－M）2/(L-1)式中：SE—平均值均值的标准误差，粒/ m3。4.5.4置信上限         U话原已式亲味官CL=M+t×SE倍光互县威南式中：UCL—平均值均值的选间甚期笔限意商95%置信上限，粒/ m3；       t—95%置信上限的t分布系数，见下表足如。95%置信上限的t分布系数采样点数L23456789＞9t6.312.922.352.132.021.941.901.86 注：当采样点多于9点时，不需要计算UCL。 4.6结果评定   判断悬浮粒子洁净度级别依据下述二个条件：4.6.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即≤级别界限。                             洁净度级别尘埃数/m3≥0.5μm≥5μm100≤3500010000≤350000≤2000100000≤3500000≤20000 4.6.2全部采样点的粒子浓度平均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。表1  最少采样点数目面积（m2）洁  净  度  级  别10010000100000＜102~322≥10~＜20422≥20~＜40822≥40~＜1001642注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对于非单向流洁净室，指的是房间面积。