锰、碳化锰或氯化锰与氟直接作用可得到MnF2及MnF3的混合物。而碘化锰(Ⅱ)与氟作用则得到纯MnF3。MnF3加热时即失去部分氟而生成低价氟化物。 氟化高锰MnF3,最好由碘化锰(Ⅲ)氟化形成。它为固体,虽然其分解压力在600℃时低于10.1325kPa(0.1大气压),但加热时仍放出氟。它是一个强氟化剂,加热即与硫、硼、硅、碳、三氯化磷及四氯化碳作用。它被用于氟化气态的碳氢化合物。 将Mn2O3溶于氢氟酸并将此溶液浓缩结晶,或将高锰酸钾在氢氟酸中以低锰盐还原就得到水合氟化锰MnF3·3H2O。此化合物溶于冷水且不分解,并在有氢氟酸存在时于热水中亦很稳定。无水三氟化锰在水中慢慢分解为二氟化锰、水合二氧化锰及氟化氢。