真空冷凝器

在高真空状态下，真空室内残余气体分子的65%到95%以上都是水分子以及水分文称局领频什苦照星卫搞子与其它气体分子的结合物，这些水汽分子是典型的最具副作用性的污染气体。以往常用的方法是，离子清洗和高温烘烤，但真空系统尤其是扩散泵系统对水蒸气抽速太低，而用昂贵的低温泵系统也仅仅吸附和掩埋掉真空室中的一部分水蒸气分子，高温烘烤也只是把水分子从基片表面迁移，使基片减少对水蒸气的吸附，而真空冷凝器可将90%以上的水分子吸附，并能吸附掉真空泵中逃逸出来一部分油分子。