硅基氮化镓和碳化硅基氮化镓工艺有什么不同呀

与很多公司的氮化镓采用碳化硅（SiC）做衬底不同，MACOM氮化镓工艺的衬底采用硅基。硅基氮化镓器件工艺能量密度高、可靠性高，Wafer可以做的大，目前在8英寸，未来可以做到10英寸、12英寸，整个晶圆的长度可以拉长至2米，无论在产能和成本方面，硅基氮化镓器件有优势些。

——以上资料来自MACOM半导体公司。