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低温等离子体灭菌器的原理？

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回答者：网友

抄的哦 真空阶段：使灭菌室内真空度达到等离子体放电的真空条件。 注液扩散阶段：系统自动注入过氧化氢溶液，瞬间气化分成分子，均匀扩散到整个灭菌室。 等离子阶段：气化的过氧化氢在RF的作用下产生等离子体

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