1.通知动力部门开通风,排水,送去离子水和压缩空气。
2.开启空调,温度设定为25℃。
3.开启恒温循环水机,温度设定在20℃。
4.开启恒温水浴锅,温度设定在80℃——85℃。
5.开启上蜡机温度设定120℃,压力3kg。
6.按研磨粉(280):H2O:防锈剂=5Kg:15L:0.8L配好研磨液待用。测量盘面状况,如盘面测量差20um以上则要求修盘。
7.测量待研磨的外延片的厚度。