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真空磁控溅射镀膜这几种化合物那种最硬？请高人排序一下，讲讲特点。 碳化钛、氮化钛、碳氮化钛、氮化锆。

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这几种中碳氮化钛要最硬，硬度为3000-3500HV，摩擦系数0.5，颜色紫色；其次氮化钛膜，硬度2300-2500HV，磨擦系数0.65，颜色金黄。
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