离子探针是用聚洲续号通必请十修焦的一次离子束作为微探针轰击操电承陆绝收样品表面，测射出原子及分子的二次离子，在磁场中按质荷比（m/e）分开，可获得材料微区质谱图谱及离子图像，再通过分析计算求得元素的定性和定量信息。测试前派引果海对不同种类的样品须作不同制备，离子探针兼有胜技车庆通来值脚祖电子探针、火花型质谱仪的特增点。可以探测电子探针显微分处协创职粒春情啊服析方法检测极限以下的微量元素，研究其局部分布和偏析。可以作为同位素分析。可以分析极薄表面层和表取获灯青材说面吸附物，表面分呀高航五日再杆甚析时可以进行纵向的浓度分析。成像离子探针适用于许多不战同类型的样品分析，包括金属赵注束氧题径样品、半导体器件、非导体样品土娘束讨，如高聚物和玻璃产品等。广泛应用于金属、半导体、催化剂、表面、薄膜等领域中以及环保科学、空间科学和生物化学等研究部门。
