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硅片表面有砷和磷用什么化学试剂清洗?

单晶硅片上做过检测了，如砷，磷等，要清除这些杂质，要什么化学试剂或是什么方法去除，到原来的单晶硅片表面无杂质！
网友 1

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回答者：网友
因为砷，磷是同一主族的元素，因此化学性质是相似的。
因为磷能溶解于CS2溶液，所以砷也能溶解CS2溶液。
但是硅是不溶的。
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