硅烷法生产多晶硅工艺技术在国内还没有成熟的经验，国外采用的也很少。谁知道好的硅烷法工艺可生产多晶硅

除了三九硅业在探索外，其他企业不敢进行硅烷法的探索。这种方法的风险很大，发生爆炸的几率高，日本曾经做过这种话异等急式批武方法的探索，但失败了。目前还是改良西门360问答子技术最稳定，而且能耗也呈现逐步下降趋势。