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立方氮化硼薄膜
立方氮化硼薄膜的结构与特性
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具立方晶体结构的氮化硼薄膜。立方氮化硼(c-BN)是仅次于金刚石的超硬材料,化学稳定性极好,具有高电阻率,高热导率,掺入某些杂质可以成为半导体。立方氮化硼薄膜可以用低压气相形成金刚石薄膜相似的方法合成。氮化硼(BN)有三种异构体:h-BN,c-BN和w-BN,它们之间性能别很大,h-BN具有与石墨极相似的层状结构,质地很软。w-BN和c-BN中B、N原子都是彼此形成四配位结构,在硬度方面两者差别不大,都是硬质膜,可以用于切削刀具。
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