基本信息：
中文名称 一氟三乙氧基硅烷
中文别名 三乙氧基氟硅烷;
英文名称 triethoxy(fluoro)silane
英文别名 Silicon fluoride triethoxide;Orthokieselsaeure-triaethylester-fluorid;Fluorotriethoxysilane;Silane,triethoxyfluoro;Triaethoxy-fluor-silan;Triethoxyfluorosilicon;Triethoxyfluorosilane;
CAS号 358-60-1
合成路线：
1.通过硅酸四乙酯和氟化锑(III)合成一氟三乙氧基硅烷
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2.通过五氟苯基三乙氧基硅烷合成一氟三乙氧基硅烷
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更多路线和参考文献可参考
http://baike.molbase.cn/cidian/114302
