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氮氧化硅化学式？

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回答者：网友

氮氧化硅的化学式SiON，作为纯二氧化硅的替代材料。这项变革的主要的优势是显著减少PMOS器件中硼从多晶硅穿透进入栅电极绝缘层的数量。

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