电感耦合等离子体质谱是以电感耦合等离子体作为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术。 电感耦合等离子体和质谱技术的联姻是20世纪80年代初分析化学领域最成功的创举，也是分析科学家们最富有成果的一次国际性技术合作。优点1、多元素快速分析（＞75）2、动态线形范围宽3、检测限低4、在大气压下进样，便于与其他进样技术连用5、可进行同位素分析、单元素和多元素分析，以及有机物中金属元素的形态分析缺点1、运行费用高2、需要有好的操作经验3、样品介质的影响较大（TDS＜0.2%）4、ICP高温引起化学反应的多样化，经常使分子离子的强度过高，干扰测量。
