离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面所发生的什么

离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面所发生的什么
o1、是一种精密微细的加工导内胡方法.
2、非接触式加工,不会产生应力和变形.
3、加工速度很快,能量使用率可高达90％.
4、加360问答工过程可自动化.
5、社注创在真空腔中进行,笑望反时拿绝污染少,材料加工表面不刘属香稳氧化.
6、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵.