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- 苏州微艾精密科技有限公司
- 纳米机械手-纳米操纵仪-纳米操作机LF-2000
¥99
TNI
加拿大多伦多
2021-07-16 00:49
我要认领苏州微艾精密科技有限公司
路女士
luhf@jitrimnai.com
产品说明
纳米机械手-纳米操纵仪-纳米操作机LF-2000产品简介TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统,也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。产品特性 · 兼容主流电镜,不影响电镜功能 · 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能· 位移传感器集成自动化和可编程运动 · SEM真空环境优化设计,可快速安装与拆卸规格参数| 系统概况 | 系统尺寸 | 127x127x33 |
| 机械手数量 | 1-4 |
| 操作手(宏动) | 驱动原理 | 粘滑驱动 |
| 运动范围 | XY轴:10mm Z轴:5mm |
| 最大速度 | >3mm/s |
| 最小步长 | <100nm |
| 操作手(微动) | 驱动原理 | 无摩擦柔性铰链 |
| 运动范围 | XYZ轴:20μm |
| 最大速度 | >45μm/s |
| 开环运动分辨率 | 0.5nm |
| 闭环运动分辨率 | 1nm |
| 定位漂移率 | <0.35nm/min |
| 软件功能** | 点击-移动 | 鼠标在电脑屏幕上从A移动到B |
| 自适应放大倍数 | 定位器移动速度根据SEM放大自动调整 |
| 操作手位置保存/加载 | 用户自定义的“保存/加载”操作手坐标 |
| 3D虚拟显示 | 实时三维显示操作手的位置和运动 |
| 自动校准 | 操作手闭环传感器自动校准 |
| 运动轴的自动对准 | 所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴 |
应用案例电学特性LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。图片展示的是四探针测量纳米线电学性能。
力学测量LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈,图片展示的是用球端AFM悬臂探针对单根纳米线的拉伸测试。
拾取和放置操作使用末端工具(例如:探针、微纳米夹持器、超声切割针),操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。
制作微纳米器件精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。图片展示的是纳米线FET传感器的构造。