三维MEMS形貌仪
基于世界独有长距离干涉显微镜专利技术，实现长工作距离三维MEMS形貌成像！ 该精密仪器适用于MEMS器件的三维成像、表面计量、结构测试；配备客户定制要求的微电子测试探针台；长工作距离同时也满足标准探针或探针卡的测试需求。可选择大范围扫描平台，实现整个Wafer表面的MEMS结构的纳米级高度形貌测试。 整合了防震台、两个左手操作真空底座探针显微定位器、两个右手操作真空底座探针显微定位器、标准绿色LED光源、标准2/3英寸黑白CCD相机；图像处理系统包含NI的模拟输出卡、IMAQ可视化驱动引擎、IMAQ卡、NI-IMAQA卡；计算机控制系统配备实时视频采集功能。主要特点
长工作距离确保足够的MEMS测试探针操作空间
全窗口范围测量
标准5X、10X、20X物镜
纳米级分辨率
价格适中
配置灵活
满足专业微系统研究人员测试需求
MEMScriptTM软件,可实现三维MEMS形貌测试，控制MEMS器件，分析器件特性，实时器件性能测量。
MEMScript软件特点
相移干涉三维形貌测量(PSI)
振动波输出
Decision making capability (full logical branching)
频闪检查成像功能
简洁用户界面
光源亮度自动设定
提供GPIB外部设备控制界面
提供串口外部设备控制界面
兼容IntelliwaveTM软件
MATLAB, IDL, MS Excel,and LabVIEW软件界面
电压放大器选件真空源&快门控制选件
定位物镜选件 垂直扫描VSI测量选件
大范围扫描,闭环控制
Optopro 622-A技术规格 | | | 专利技术 | 长工作距离干涉显微镜 | | 系统 | | 测试波长 | 532 nm非相干光源 | | 放大倍率 | 5X, 10X, 20X | | 相机 | 1/2" B&W Digital Camera | | 探针显微定位单元 | Signatone (QTY:4) | | 电压放大器 | EMOpto 4-channel (optional) | | 防震台 | Vibraplane | | 真空/快门 | VacPak | | | | Part Viewing | 实时视频显示器显示 | | 物镜 | | 放大倍率 | 5x | 10X | 20X | | 数值孔径 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | | 工作距离(mm) | 34.0 | 33.5 | 20.0 | | 聚焦长度(mm) | 40 | 20 | 10 | | 分辨率(µm) | 2.0 | 1.0 | 0.7 | | 聚焦深度(µm) | 14.0 | 3.5 | 1.6 | | 面内分辨率(nm) | 20 | 10 | 5 | | 聚焦分辨率(nm) | +/- 5 | +/- 5 | +/- 5 | | 市场1- V x H(mm) | 1.32 x 1.80 | 0.66 x 0.88 | 0.33 x 0.44 | | Note 1: for 2/3 inch CCD. | | 电子控制单元 | | | | | 功率 | Powered from Computer | | 机械设计 | | 尺寸 | 762 mm x 610 mm x 762 mm (30" x 24" x 30") | | | 重量 | 68 kg (150 lb) | | 环境要求 | | 温度范围 | 15 to 30ºC | | 温度变化率 | <1.0ºC per 15 min | | 湿度 | Relative 5% to 95%, no condensing | | 防震 | | | 控制系统 | | 计算机 | Dell PC | | 控制界面 | National Instruments | | 软件 | MEMScriptTM | |
|
经济型MEMS三维形貌仪 模块化MEMS三维形貌仪
