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| 供应商 | 三英精密 |
| 规格 | 台 |
● 微纳级的焦斑尺寸确保系统的高分辨率
● 透射式射线源，测试样品与焦点的距离很小，达到高分辨成像
● 多种扫描模式：螺旋、偏置、有限角等
● 可搭载自动进样系统，进行批量自动化测试
分辨率
像素细节分辨能力 | 200nm(平板探测器) / 40nm(物镜耦合探测器) |
空间分辨率* | 500nm(平板探测器) / 500nm(物镜耦合探测器) |
X射线源
类型 | 开管透射式(微焦点/纳焦点) |
最高电压 | 240KV / 225KV / 190KV / 160KV |
平板探测器
成像面积 | 244mm×195mm |
像素矩阵 | 1920×1536 |
物镜耦合探测器
镜头 | 4X、10X、20X |
样品
可检测样品尺寸 | 450mm×350mm(直径×高度) |
样品承重 | 15kg |
设备物理参数
设备尺寸 | 2460mm×1250mm×1950mm(长×宽×高) |
设备重量 | 5000kg |
*空间分辨率可用空间分辨率测试卡进行测试验证
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