| 数量 | 1000 |
| 供应商 | 北京正通远恒科技有限公司 |
| 现货状态 | 定制 |
| 保修期 | 1 |
| 衬底尺寸和类型 | • 大小不等的3D结构物件（例如：机械零件、玻 璃或金属片、硬币、珠宝以及医疗植入物等） |
| 工艺温度 | • 50 – 400°C |
| 标准工艺 | • Al2O3, ZnO, TiO2 |
| 基片装载 | • 通过装载工具进行手动装载 |
| 前驱体 | • 液态、固态、气态、臭氧源 • 源瓶余量传感器，提供清洗和装源服务 • 6根独立源管线，最多加载10个前驱体源 |
| ALD工业领域及应用 | |
| 产品 | ALD应用 |
医疗植入（牙科，连接技术） 手术固定器 | 植物活性层， 用来提高骨融 合，生物兼容的包覆层 |
植入医疗器件 （心脏起搏器，耳蜗植入） | 生物兼容包覆层 |
| 收藏性硬币 | 防着色涂层 |
| 钟表部件 | 防着色层或装饰层 |
| 珠宝 | 防着色层或装饰层 |
| PCB | 防锡晶须及腐蚀 |
