| 大功率半自动探针台 |
| 型号 | SHCV-6-Auto | SHCV-8-Auto | SHCV-12-Auto |
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm |
| 重量 | 180KG | 250KG | 380KG |
| 电力需求 | AC220V,50~60HZ |
| Chuck | 尺寸 | 6inch | 8inch | 12inch |
| X-Y轴行程 | 6*6inch | 8*8inch | 12*12inch |
| X-Y轴移动解析度 | 0.04um/0.1um |
| X-Y轴重复定位精度 | ±1um |
| 移动速度 | ≥ 50 mm/sec |
| Z轴行程 | 10mm |
| Z轴移动解析度 | 0.1um |
| Z轴重复定位精度 | ±1um |
| Theta角度行程 | ±15° |
| Theta角度解析度 | 0.0003° |
| 光栅尺 | 带光栅尺 |
| 样品固定方式 | 多孔真空吸附，独立分区控制 |
| 切换样品功能 | 样品台快速拉出 |
| 结构 | 同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用 |
| 针座平台 | 规格 | O型平台，最多可放置8个针座 | O型平台，最多可放置10个针座 | O型平台，最多可放置12个针座 |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um |
| 控制方式 | 手动控制盒（可选择带操纵杆） |
| 软件控制 |
| 软件功能 | wafer map的编辑 |
| 仪器的接入 |
| 数据的采集和图像化显示 |
| 数据的分析 |
| 差异数据的标定Ink mark |
| 自定义Bin分 |
| 自动测试 | | |
| 通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 | | |
| 大功率规格 | 配置 | 大功率kelvin样品台 |
| 大功率夹具线缆 |
| mult-pin 分流探针 |
| 大功率保护模块（针座用） |
| 保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁 |
| 大功率仪器连接模块 |
| 最大测试电压 | 10KV |
| 最大测试电流 | 500A（脉冲） |
| 光学特性 | 显微镜行程 | 2*2inch |
| 显微镜行程 | 1um |
| 放大倍数 | 20-4000X |
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） |
| 点针规格 | 点针精度 | 10微米/2微米/0.7微米 |
| X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm |
| 漏电精度 | 10pA/100fA |
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口 |
| 温控特性 | 温度范围 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
| 温控精度 | 温度分辨率： 0.01°C |
| 加热电源 | LVDC 低压直流 |
| 最低控温速率 | ±0.1°C /小时 |
| 传感器 | Pt100 |
| 制冷方式 | 液氮制冷 |
| 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 |
| 可选附件 | chuck快速拉出装置 |
| 显微镜倾仰装置 |
| 激光修复 |
| 探针卡夹具 |
| 光强/波长测试接口部件 |
| 加热台 |
| 高低温样品台（-80~200℃） |
| 防震桌 |
| 射频测试 |
| PCB板夹具 |
| 液晶热点侦测套装 |
| 屏蔽箱 |
| 卡盘镀金 |
| 运用方向 | 晶圆测试，功率器件测试 |
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| 特点： |
| SiC/GaN晶圆测试 | 超高的测试精度 |
| 大功率晶圆测试 | 便捷的仪器接入 |
| （-60~200℃）高低温Chuck | 半自动测试 |
| 20~4000X光学显微放大 | 可升级全自动测试 |
| 功能丰富的测试软件 | 可升级射频测试 |
