LCC/LCD 清洁流程烘箱内外均由不锈钢制成，具备坚固、可编程的流程控制以及各种定制选择，可满足您的特定需求。LCC 和 LCD 系列烘箱具有最高的 HEPA 过滤标准，适用于那些需要将污染降至最低的生产环境流程。100% 的循环气流经 HEPA 过滤，以达到 ISO Class 5 (Class 100) 的操作标准，或在烘箱工作室内达到更好的操作标准。这些烘箱的一般应用包括黏晶烘烤和其他半导体包装流程、以及生命科学领域的高温消毒、杀菌和干燥。烘箱符合 SEMI S2 和 CE 要求，受到全球范围内的承认，另外，其电压和频率分别设置为 220/240 伏特与 50/60 赫兹。

这类装置属于可堆叠式，可节省宝贵的楼层空间，并为操作员提供最大的人体工学效应。循环电机安装在烘箱背面，位置方便，便于检查和维护，并且最多可互相堆叠三个烘箱，同时满足装载重量保持在人体工学可接受的范围内。

可选择两种不同的环境配置方式：
空气环境 – 空气环境装置内装有强制废气排风扇，可实现快速冷却。
惰气环境 – 将氮气（或其他惰性气体）注入工作室，可降低氧气浓度，以免产品氧化。冷却线圈可实现快速冷却。可通过 Protocol Plus™ 控制器来控制氮气流及冷却任务。