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薄膜应力测量仪
Based on classic Stoney formula principle, advanced control technologyand smart operationmake the FST1000 film stress tester particularly suit-able for measurement in fast characterization of film residual stress.
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜应量仪特别适合于要求快速测量常规薄膜残余应力。薄膜应力测量仪源自中科院金属研究所和深圳职业技术学院相关研究成果转化！专利号：CN204854624U；CN203688116U；CN100465615C
薄膜应力测量仪产品规格：
| 技术规格 | 参数 |
| 基本原理 | 曲率法Stoney公式 |
| 薄膜应力测试范围 | 5 MPa～50GPa |
| 曲率半径测试范围 | 0.3～ 20 m |
| 薄膜应力计算误差 | ＜±2% |
| 曲率半径测试误差 | ＜±1% |
| 测试平台行程 | X方向：100 mm / Y方向：50 mm |
| 样品尺寸 | 长方形样品 |
| 样品定位 | 自动定位原点 |
| 样品校正 | 可计算校正原始表面不平直影响（对减模式） |
| 主要功能 | 自动测量采集计算曲率半径和薄膜应力 |
| 电源电压 | 220 VAC电源适配器 |
| 电源功耗 | 280 Watts Maximum |
| 通讯连接端口 | USB 2.0 |
| 工作温度 | 0～50 ºC |
| 操作软件 | 视窗界面/适用于Windows XP/Windows 7系统 |
| 操作电脑 | 用户自备或选配 |
| 外形尺寸 | 50×39×34cm |
| 重量 | ～ 40K g |
| 质量保证 | 一 一年免费/终身维护 |
| 备注 | 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们 |
