Hitachi S-3400N
一、日立扫描电子显微镜S­-3400N型的特点
1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品最高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效。

二、日立扫描电子显微镜S­-3400N型的技术指标

项目	描述
SE分辨率	3.0nm (30kV)，高真空模式  10nm (3kV)， 高真空模式
BSE分辨率	4.0nm (30kV)，低真空模式
放大倍率	x5 ~ x300,000
加速电压	0.3 ~ 30 kV
低真空范围	6 ~ 270 Pa
最大样品尺寸	直径200mm
样品台	I型	II型
X	0 ~ 80mm	0 ~ 100mm
Y	0 ~ 40mm	0 ~ 50mm
Z	5 ~ 35mm	5 ~ 65mm
R	360º	360º
T	-20º~ +90º	-20º ~ +90º
最大样品高度	35mm (WD=10mm)	80mm (WD=10mm)
驱动类型	手动	五轴马达驱动
灯丝	预对中钨灯丝
物镜光栏	可移动式4孔物镜光栏
枪偏压	固定比例偏压、手动偏压和自动4偏
检测器	二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器
分析位置	WD=10mm, TOA=35o
控制	鼠标、键盘，手动旋钮
自动调校	自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度