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聚焦离子束激光离子化纳米质谱成像系统

价格：询价

品牌：TOYAMA

最新更新日期：2021-06-08 17:47

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玛瑞柯（上海）贸易有限公司

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公司：玛瑞柯（上海）贸易有限公司

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产品说明

聚焦离子束激光离子化纳米质谱成像系统 (FILMER)
-纳米尺寸表面质谱成像
FILMER基于二次离子质谱技术，集成了聚焦离子束，扫描电子显微镜和激光器。
功能
・二次离子质谱

原理
用聚焦离子束溅射试样表面，收集和分析排出的二次离子；
数据采集
这些二次离子的质量/电荷比及质谱可确定元素，同位素，或分子组成；
・激光二次中性质谱（Laser-SNMS）

原理
用聚焦离子束溅射试样表面，使用激光共振电离大多数溅射中性原子；
数据采集
与二次离子质谱相同
・聚焦离子束精细加工

可以通过连续Ga聚焦离子束连续溅射样品表面除去想要除去的部分；
・二次离子质谱及扫描电子显微镜观测

可实现二次离子质谱及扫描电子显微镜两种观测方式；

主要特点：
1. 高空间分辨率
□ 横向分辨率 < 40nm
□ 质谱分辨率 m/Δm >7000@m/z=56
2. 可原位加工和分析，避免暴露于空气中
□ SEM小损伤观测，可定位值FIB相同位置；
□ 可分析颗粒表面及横截面；
3. 可实现激光二次中性质谱
□ 与传统SIMS相比可显著改善信号灵敏度；
□ 高灵敏度的有机化合物分析；

技术参数：

性能
原始束流	30kV Ga⁺
横向分辨率	40 nm
测量范围	500μm ~ 500nm
质谱分析	飞行时间（TOF）
质谱分辨率（m/z = 56)	m/Δm = 7000
激光器	飞秒激光器
激光波长	1030nm, 515nm, 355 nm, 257nm
激光能量	10W / 1mJ (1030nm)
扫描电子显微镜	30kV ~ 5 kV
扫描电子显微镜横向分辨率	＜30nm
样品尺寸	X1cm×Y1cm×Z3mm
机械操作	5轴
可选	电荷中和装置, 转移容器,等

应用案例请详询本公司官网http://www.masrc-china.com

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