| 数量 | 10 |
| 供应商 | 北京安泰瑞科科技有限公司 |
| 规格 | 5L |
| 型号 | 纯度 | 流量 L/min | 空气进气 (7bar-L/min) | 氮气压力 (Bar) | 尺寸 | 重量 (kg) | 自带气源 (是/否) |
| (长*宽*高) | |||||||
| ATEN-1-D-0 | ≥99.9995% | 1 | 25 | 5 | 500*650*920 | 55 | 否 |
| ATEN-1-D-1 | ≥99.9995% | 1 | N/A | 5 | 500*650*920 | 75 | 是 |
| ATEN-3-D-0 | ≥99.9995% | 3 | 105 | 5 | 500*650*920 | 68 | 否 |
| ATEN-3-D-1 | ≥99.9995% | 3 | N/A | 5 | 500*650*920 | 118 | 是 |
| ATEN-5-D-0 | ≥99.9995% | 5 | 105 | 5 | 500*650*920 | 68 | 否 |
| ATEN-5-D-1 | ≥99.9995% | 5 | N/A | 5 | 500*650*920 | 118 | 是 |