高纯氩广泛应用于电子、冶金、机械、高纯材料和仪器分析等产业部门和科学研究中。为直读光谱仪、等离子光谱仪、辉光光谱仪、定氢仪和单晶硅、光电材料生产等提供稳定的高纯氩气。

主要技术指标

1、输入原气

本纯化装置允许原料氩气中的氧含量≤3000ppm、N2≤200ppm、水≤1000ppm(即露点低于-2 0 ℃)，一般瓶装纯氩均能满足这些要求。

2、输出纯气

纯气的最大输出能力为4m³/h

纯气中杂质含量：O2≤0.2ppm N2≤0.2ppm

H2O≤1ppm 即露点≤-76 ℃

C的氧化物≤0.1ppm S、P的氧化物≤0.1ppm

尘埃粒子数（≥0.3µm）3-5个/升，即100级

3、工作条件

工作压力≤1.0MPa

催化塔工作温度 260℃ 吸附塔工作温度 室温

合金吸附塔工作温度 300℃ 吸附塔再生温度 400℃

再生用气量 500ml/min

4、电源

电压 220V 催化塔 0.6kw 吸附塔工作时 0kw

合金吸附塔工作时0.6kw 再生时 1kw

5、外形和重量

450mm×635mm×1210mm 130kg