六氯乙硅烷的工艺流程？

生产六氯乙硅烷的方法，其中六氯乙硅烷是由通过在高温下热裂解或氢化还原氯硅烷来沉积多晶硅的硅反应体系排放的废气制得，该方法包括： 冷却该废气得到冷凝物；和 蒸馏该冷凝物以回收六氯乙硅烷。