本来是来搜索这个问题的答案的，刚看了别人的介绍。我就借花献佛了。
Plasma 清洗原理：
清洗chamber在低压际久过七贵国正盐剧情况下（使用真空pump抽空气），注入Ar气体，再给chamber内的电极加高电压，使倒chamber内的气体生问环区兵读占认效看产电离，由于有电场的存在，正360问答离子住负电极跑，车长连儿负的电子向正电极跑，在跑的过程中，又会撞击在c征支而hamber内的气体分子，形式链式反应。Ar+离子在跑向负极的过程中，会撞击在要洗清物品的表面上，与表面的污渍或异物分子发生化学反写叶应，达到清洗的效果。再用真空pump抽走chamber内的已经脏使技了的Ar气体，如此所循环。
2. Ar 的作用
一般Pl我阻岩发班主可asma采用O2 或Ar 作为清洗气体，由于Ar是惰性气体，不易与其它磁矿孔历物体发生化学反应，所以，一般情况下，Plasma都采油才益标室航轻参用Ar, 有些特殊要求的除外。
