act94溶液是什么

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清洗液。
采用的刻蚀后清洗液主要有两类,一种是以羟胺为主要活性成份的清洗液,如EKU65,EKC270,EKC270T,ACT935, ACT940等,另一类主要是以F离子为活性成分的清洗液如IDEAL Clean960, I略称DEAL Clean 815,ST-250 等。

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