二硅化钽是怎样生产的？

基本信息：
中文名称 二硅化钽
中文别名 二矽化钽;
英文名称 Tantalum disilicide
英文别名 bis(λ2-silanylidene)tantalum;
CAS号 12039-79-1
分子式 Si2Ta
分子量 237.11900

生产方法：

1.以金属钽和硅粉为原料，将金属钽和硅粉进行粉碎并混合均匀，再将其放入石墨炉内加热至1100～1500℃进行预反应，然后通入氢气，再升温至800℃进行反应，即得硅化钽。或者用氢化钙还原五氧化二钽得到氢化钽，再加热至1800℃得金属钽，然后加入硅粉合成得硅化钽。
2.将Si和Ta混合物先预热至350℃，然后升温至1480℃，加热反应。或令TaS2与SiHnX4-n在900℃下反应制得。
3.直接法　以金属钽和硅粉为原料制备硅化钽，反应式如下。首先将金属钽和硅粉进行粉碎并混合均匀，再将其放入石墨炉内加热至1100～1500℃进行预反应，然后通入氢气，再升温至1800.℃进行均化反应1h，即得硅化钽。
4.五氧化二钽还原法　首先用氢化钙还原五氧化二钽得到氢化钽，再加热至1800℃得金属钽，然后加入硅粉合成得硅化钽。