75-73-0 (四氟甲烷,Carbon tetrafluoride)

结构式：

四氟甲烷MOL文件

CAS号：

75-73-0

中文名称：

四氟甲烷

英文名称：

Carbon tetrafluoride

分子式：

CF₄

分子量：

88.0043144226074

简介：

四氟化碳，又称为四氟甲烷、Freon-14及R 14，是一种卤代烃（化学式：CF4）。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。零下198 °C时，四氟化碳具有单斜的结构，晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。

管制类

四氟甲烷(75-73-0)名称与标识符

名称

中文别名：

四氟甲烷;四氟甲烷四氟化碳;四氟甲烷四氟化碳全氟化碳;四氟化碳;四氟化碳CF4 高纯四氟化碳;四氟甲烷 R41;五氟乙烷/C2H5/R125;硼烷、乙硼烷、硼烷混合气-远创气体;高纯四氟化碳;

英文别名：

Carbon tetrafluoride;Arcton 0;Carbon fluoride;Carbon fluoride (CF4);carbon(IV)fluoride;carbonfluoride[cf4];Carbontetrafluoride(CF4);Fluorocarbon 14;Freon 14;Halon 14;Methane,tetrafluoro;perfluorocarbon;Perfluoromethane;Refrigerant 14;Tetrafluorkohlenstoff;Tetrafluor-methan;Tetrafluorocarbon;Tetrafluoromethane;FC 14;Halocarbon 14;Refrigerant R 14;Carbon tetrafluoride (FC-14);CARBON TETRAFLUORIDE, 99.9%;CARBON TETRAFLUORIDE (R-14);Tetrafluoromethane(CarbonTetrafluoride);Tetrafluoromethane(FC-14);Carbontetrafluoride(FC-14)99%;TETRAFLUOROMETHANE: 99.95%;Carbon tetrafluoride: (Tetrafluoromethane);75-73-0;Methane, tetrafluoro-;CF4;LS-52238;EINECS 200-896-5;DTXSID2041757;R 14;MFCD00000371;CFC 14;Metano, tetrafluoro-;Tetrafluoromethane, compressed or Refrigerant gas R 14 [UN1982] [Nonflammable gas];tetrakis(fluoranyl)methane;AKOS015839796;Q423055;TETRAFLUOROMETHANE [HSDB];FT-0623473;CARBON TETRAFLUORIDE [MI];Tetrafluoromethane, compressed or Refrigerant gas R 14;Tetrafluoromethane, compressed or Refrigerant gas R 14 [UN1982] [Nonflammable gas];UN 1982;A838500;C-F4;Tetrafluormethan;InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5;UNII-94WG9QG0JN;tetrafluoridocarbon;Ftoksilol;NA1982;HSDB 1327;F 14;Ftoxycol;TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-;Carbon tetrafluoride; (Tetrafluoromethane);R 14 (Refrigerant);UN1982;CHEBI:38825;94WG9QG0JN;NS00041249;DTXCID0021757;TETRAFLUOROMETHANE, COMPRESSED;FREON R 14;REFRIGERANT GAS R-14, COMPRESSED;DTXSID601014539;200-896-5;Methane, tetrafluoro;PFC 14;257-131-3;KHLADON 14;Tetrafluoromethane (FC-14);CARBON TETRAFLUORIDE (CF4);

标识符

MDL：

MFCD00000371

InChIKey：

TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N

Inchi：

1S/CF4/c2-1(3,4)5

SMILES：

FC(F)(F)F

四氟甲烷(75-73-0)物化性质

实验特性

LogP : 1.47570
PSA : 0.00000
Merck : 13,1827
折射率 : 1.1510
沸点 : -128 ºC
熔点 : -184 ºC
闪点 : 无意义
颜色与性状 : 无色无味气体[1]
稳定性 : Stable. Incompatible with zinc, alkaline earth metals, Group I metals, aluminium and its alloys. Non-flammable.
溶解性 : 不溶于水，溶于苯和氯仿。[10]
密度 : (solid, -195°) 1.98; d (liq, -183°) 1.89

计算特性

精确分子量 : 87.99360
氢键供体数量 : 0
氢键受体数量 : 0
可旋转化学键数量 : 0
同位素质量 : 87.993613
重原子数量 : 5
复杂度 : 19.1
同位素原子数量 : 0
确定原子立构中心数量 : 0
不确定原子立构中心数量 : 0
确定化学键立构中心数量 : 0
不确定化学键立构中心数量 : 0
共价键单元数量 : 1
疏水参数计算参考值（XlogP） : 1.8
互变异构体数量 : 无
表面电荷 : 0
拓扑分子极性表面积 : 0

四氟甲烷(75-73-0)安全信息

RTECS号： FG4920000
WGK Germany： 3
安全术语： 2.2
安全说明： S38
危险等级： 2.2
危险品标志： F
危险品运输编号： UN 1982 2.2
危害声明：Non-flammable
储存条件：保持在一个凉爽、干燥、黑暗的地方，在密封容器或缸中。远离不相容的材料、火源和未经训练的人。安全标签区域。保护容器/汽缸避免物理伤害。
危险类别码： S38：在通风不良的场所，佩戴合适的呼吸装置。
TSCA： T
HazardClass： 2.2

四氟甲烷(75-73-0)国际标准相关数据

EINECS：

200-896-5

四氟甲烷(75-73-0)生产方法和用途

用途：

1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。 2.是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。

四氟甲烷(75-73-0)合成路线

合成路线：1 步

反应条件：

1.1R:F2, 120 min, 20°C

参考文献：

Fluorination of polystyrene by elemental fluorine in liquid media

By Blinov, Ilya A. et al, Journal of Fluorine Chemistry, 2021, 246, 109777

四氟甲烷(75-73-0)上下游

四氟代肼六氟化钚 trifluoromethylmercapto difluoroamine 五氟乙烷 pentafluoro(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)-λ6-sulfane (trifluoromethyl)carbonimidic difluoride 三氟甲基五氟化硫 trifluoro(trifluoromethyl)sulfur(IV) 四碘化碳二硫化碳三氟甲烷碘三氟溴甲烷五氟化钒三氟化溴 trifluoromethyliodine difluoride

四氟甲烷(75-73-0)相关文献

1. Accuracy of intermolecular interaction energies, particularly those of hetero-atom containing molecules obtained by DFT calculations with Grimme's D2, D3 and D3BJ dispersion corrections
Seiji Tsuzuki,Tadafumi Uchimaru Phys. Chem. Chem. Phys. 2020 22 22508
2. On the liquid mixtures of xenon, alkanes and perfluorinated compounds
Clare McCabe,Lino M. B. Dias,George Jackson,Eduardo J. M. Filipe Phys. Chem. Chem. Phys. 2001 3 2852
3. Using hydrogenated and perfluorinated gases to probe the interactions and structure of fluorinated ionic liquids
Luiz Fernando Lepre,Laure Pison,Ines Otero,Arnaud Gautier,Julien Dévemy,Pascale Husson,Agilio A. H. Pádua,Margarida Costa Gomes Phys. Chem. Chem. Phys. 2019 21 8865
4. Understanding global infrared opacity and hot bands of greenhouse molecules with low vibrational modes from first-principles calculations: the case of CF4
Micha?l Rey,Iana S. Chizhmakova,Andrei V. Nikitin,Vladimir G. Tyuterev Phys. Chem. Chem. Phys. 2018 20 21008
5. Thermodynamic properties of fluorine compounds. Part 4.—Enthalpy of formation of carbon tetrafluoride
J. D. Cox,H. A. Gundry,A. J. Head Trans. Faraday Soc. 1965 61 1594
6. Use of a mixed argon–hydrogen–tetrafluoromethane carrier gas for the analysis of nickel materials by electrothermal vaporization coupled to inductively coupled plasma optical emission spectrometry
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7. Rayleigh scattering measurements of several fluorocarbon gases
Serena Zadoo,Jonathan E. Thompson J. Environ. Monit. 2011 13 3294
8. Intermolecular forces in perfluorocarbon+hydrocarbon and hydrocarbon+hydrocarbon mixtures, using an improved dispersion-forces combining rule
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9. Testing intermolecular potential functions using transport property data. Part 3.—Binary diffusion coefficient of methane + perfluoromethane
Anthony A. Clifford,Eric Dickinson,G. Peter Matthews,E. Brian Smith J. Chem. Soc. Faraday Trans. 1 1976 72 2917
10. Thermodynamics of liquid mixtures of xenon and carbon tetrafluoride
Lélio Q. Lobo,David W. McClure,Lionel A. K. Staveley,Paulette Clancy,Keith E. Gubbins,Christopher G. Gray J. Chem. Soc. Faraday Trans. 2 1981 77 425

四氟甲烷(75-73-0) MSDS

基础信息

国标编号:	22033	CAS No.:	75-73-0
中文名称:	四氟甲烷	英文名称:	Carbon tetrafluoride
分子式:	CF₄	分子量:	88.0043144226074
蒸汽压:

2.对环境的影响:
一、健康危害

侵入途径：吸入。
健康危害：能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。

二、毒理学资料及环境行为

毒性：属低毒类。
急性毒性：大鼠吸入90%(充氧)×15分钟，近似致死浓度；大鼠吸入895000ppm×15分钟，最小致死浓度
危险特性：不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
燃烧(分解)产物：氟化氢。

3.现场应急监测方法:

4.实验室监测方法:
气相色谱法

5.环境标准:

6.应急处理处置方法:
一、泄漏应急处理

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

二、防护措施

呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护：一般不需特殊防护。
身体防护：穿一般作业工作服。
手防护：戴一般作业防护手套。
其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。

三、急救措施

吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。

灭火方法：本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。

第一部分：化学品名称

化学品中文名称：	四氟甲烷
化学品英文名称：	tetrafluoromethane
中文名称 2 ：	四氟化碳
英文名称 2 ：	carbon tetrafluoride
技术说明书编码：	76
CAS No. ：	75-73-0
分子式：	CF₄
分子量：	88.01

第二部分：成分 / 组成信息

有害物成分	含量	CAS No.
四氟甲烷		75-73-0

第三部分：危险性概述

危险性类别：
侵入途径：
健康危害：	能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害：
燃爆危险：	本品不燃，具窒息性。

第四部分：急救措施

皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：	迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
食入：

第五部分：消防措施

危险特性：	不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：	氟化氢。
灭火方法：	本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。

第六部分：泄漏应急处理

应急处理：

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

第七部分：操作处置与储存

操作注意事项：	密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：	储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

第八部分：接触控制 / 个体防护

职业接触限值
中国 MAC(mg/m3) ：	未制定标准
前苏联 MAC(mg/m3) ：	未制定标准
TLVTN ：	未制定标准
TLVWN ：	未制定标准
监测方法：
工程控制：	生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：	一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。
眼睛防护：	一般不需特殊防护。
身体防护：	穿一般作业工作服。
手防护：	戴一般作业防护手套。
其他防护：	避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。

第九部分：理化特性

主要成分：	纯品
外观与性状：	无色无臭气体。
pH ：
熔点 ( ℃ ) ：	-183.6
沸点 ( ℃ ) ：	-128.0
相对密度 ( 水 =1) ：	1.61(-130℃)
相对蒸气密度 ( 空气 =1) ：	无资料
饱和蒸气压 (kPa) ：	13.33(-150.7℃)
燃烧热 (kJ/mol) ：	无意义
临界温度 ( ℃ ) ：	-45.5
临界压力 (MPa) ：	3.74
辛醇 / 水分配系数的对数值：	无资料
闪点 ( ℃ ) ：	无意义
引燃温度 ( ℃ ) ：	无意义
爆炸上限 %(V/V) ：	无意义
爆炸下限 %(V/V) ：	无意义
溶解性：	不溶于水。
主要用途：	用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
其它理化性质：

第十部分：稳定性和反应活性

稳定性：
禁配物：	强氧化剂、易燃或可燃物。
避免接触的条件：
聚合危害：
分解产物：

第十一部分：毒理学资料

急性毒性：	LD50 ：无资料 LC50 ：无资料
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：

第十二部分：生态学资料

生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：
其它有害作用：	该物质对环境可能有危害，应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。

第十三部分：废弃处置

废弃物性质：
废弃处置方法：	根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
废弃注意事项：

第十四部分：运输信息

危险货物编号：	22033
UN 编号：	1982
包装标志：
包装类别：	O53
包装方法：	钢质气瓶。
运输注意事项：	采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。

第十五部分：法规信息

法规信息	化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第 2.2 类不燃气体。

第十六部分：其他信息

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